BOYU SPORTS|易度仪器获得中国首个层流质量流量计CPA证书

近日，易度仪器进账喜讯，其自律研发的通用型层流质量流量计系列产品，通过中国计量科学研究院的计量器具型式评价试验，取得中国首个层流质量流量计计量器具型式批准后资质证书（全称CPA证书）。产品精度超过国家可批准后最高级别1.0级，重复性0.1%，响应时间0.01S。

仍然以来，小微气体、液体流量的精确测量和掌控被西方发达国家技术独占，这项技术在众多高端生产领域，还包括半导体、生物制药、新材料等都归属于最重要核心技术。易度仪器层流质量流量计的研发和问世，是公司博士、硕士构成的高素质创业骨干，联合国内一流的专家学者等构成研发团队，面临国外技术封锁，自2011年以来秉承流体测控领域，自主创新，不懈努力的结晶。

苦心孤诣：七年研发，挑战世界难题2011年，这个以“80后”为主力军的研发团队开始向国外先进设备技术发动挑战，当时国外进口的设备独步天下，涉及技术也被西方发达国家独占，国内只有个别厂商可以生产一些低端产品，精度较低，重复性劣，不能设施于低端产业，由于缺少核心传感器技术，即便拆下了国外的设备，也无法突破。无数事实指出：企图通过仿造国外先进设备产品的路是回头必经的。从研发一开始，易度团队就精神状态地认识到，高端精密仪器归属于技术密集型产品，只有通过自主创新，遵循“概念论证”——“关键技术检验”——“方案检验”——“原理样机”——“工程样机”——“产品样机”——“产品”的技术路线，才能确实掌控技术，研发出有高精尖的产品。

这一技术路线耗时之宽、成本之低、风险之大，他们中很多人退出了高薪的工作、舒适度的生活，有家人的不解读，也有周围人的取笑。当时在微流量测量领域放在研发团队面前的有两条技术方向：一是以传热学原理为基础的热式质量流量计，主要由欧美日的六七家公司占有全球绝大部分市场，是技术的主流，技术成熟度较高，但国内仍然无法掌控热式传感器这一技术核心；另外一条是以“哈根泊肃叶定理”为基础的层流质量流量计，其核心的层流传感器研发由于技术难度更高，生产工艺十分简单，让那些生产热式质量流量计的国际顶级厂商也望而却步。几十年来，全球范围内唯一获得根本性层流技术突破的只有一家美国公司，但离构建大规模商业应用于还有极大的距离。

最后，考虑到热式技术已渐趋成熟期，发展空间渐趋饱和状态，在充份调研后，这群80后“初生牛犊”自由选择了更为先进设备，享有辽阔技术发展空间，但技术门槛更高的层流质量流量计技术路线，开始专心于攻下核心技术——“通用型层流传感器”的研发。独立自主：攻下核心，成就中国第一从不滑稽地说道，一个国家微流体测控水平的强弱，要求着高端制造业水平的强弱。

小微流量测控领域一般来说测量范围在0.0001ml/s~100000ml/s，跨度范围多达9个数量级，而每次精确测量响应速度要大于0.01s，并确保倒数两次测量的相对误差大于千分之一，技术难度可想而知。易度团队历时七年苦心孤诣的研究，从2013年第一款层流传感器原理验证机的问世，到2014年第一代控制板原理验证机的研发，2015年底第一台层流质量流量计工程样机的研发顺利，仍然到2017年6月，第一代层流质量流量计的问世，2018年底成功通过国家计量院的型式评价证书。

这其中没现成的经验可以糅合，所有的工作都要从零开始，一遍一遍地设计，一次一次地试验，告终了，新的开始，不极致，新的改良，研发过程是伤痛的，但有一点自豪的是，易度团队坚决了下来，啃下了一个个硬骨头，并掌控了这项核心技术，成就了今天的产品。目前该项技术已获得国家发明专利两项，同时在全球PCT检索中具备新颖性。在国内，也只有易度公司掌控了通用型层流测控技术，产品经过国家最低权威机构的检验，沦为中国首家通过证书的通用型层流质量流量计生产商。

永无止境：高效专心加添中国力量易度仪器顺利研发出有的层流质量流量计和控制器，不仅能构建对气体和液体质量流量的测量，还能精准掌控，是国内第一款自律研发的层流原理数字化产品。经过无数次技术改良，产品于是以日益成熟期，构建了在-20℃到70℃环境下的长时间用于，精度掌控在1.0级以内，重复性0.1%，响应时间超过0.01S。探讨用户过程控制，半导体300多项关键工艺中，有光刻、气相沉积、单晶生产等多达70%的工艺项点都与微流量测量涉及；石墨烯等新材料的生产生产过程中，最常用的方法强化等离子的化学气相沉积，也必须精准供给气体和液体；等离子体发动机作为未来航天发展方向，在生产生产工艺和地面测试环节，必须精确测量大于1ml/min稀有气体的质量流量，这是等离子体发动机平稳工作的关键测试工艺。

将近五年，全球微流量测量领域业务每年以30%的速度快速增长快速增长，随着以芯片生产、生物医药、新材料、3D打印机和微纳生产为代表的新兴高端制造业的迅猛发展，更为精细化的生产工艺对微流量测量掌控仪器明确提出了更高拒绝。在当前国家大力发展高端制造业的背景下，易度仪器有责任也有信心之后炼铁环技术，专心流体测控领域，解决问题微流量测控领域难题。

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